[发明专利]粒子测定装置以及粒子测定方法有效
申请号: | 201180017139.1 | 申请日: | 2011-04-01 |
公开(公告)号: | CN102834689A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 伊藤信明 | 申请(专利权)人: | 新日本制铁株式会社 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00;G01B11/08;G01B11/28;G01N15/02;G01N21/84 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 杨谦;胡建新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 该粒子测定装置具有:载物台、反射光用照明装置、透射光用照明装置、照明控制装置、摄像装置和图像处理装置。而且,基于使用透射光对不透明微粒群进行了摄像后得到的透射光图像和使用反射光对不透明微粒群进行了摄像后得到的反射光图像,通过规定的方法,将透射光图像中存在的透射光粒子和反射光图像中存在的反射光粒子相对应,由此,同时测定微粒群中各粒子的各种特征(位置、大小、明亮度等)。 | ||
搜索关键词: | 粒子 测定 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
一种粒子测定装置,其特征在于,具有:载物台,具有载置面,该载置面上载置有散布了不透明的微粒的透明基板,或者直接散布有上述微粒;反射光用照明装置,设于该载物台的上述载置面一侧,并朝向该载物台照射具有规定的装置发光面亮度的第一光;透射光用照明装置,设于上述载物台的与上述载置面相反的一侧,并朝向上述载物台照射具有规定的装置发光面亮度的第二光;照明控制装置,分别单独地控制上述第一光的装置发光面亮度和上述第二光的装置发光面亮度;摄像装置,具有生成透射光图像的透射光图像生成部和生成反射光图像的反射光图像生成部,并相对于上述载物台设置在上述载置面一侧,其中,上述透射光图像是以将上述第二光的装置发光面亮度设为不为0的规定亮度且将上述第一光的装置发光面亮度设为0的方式由上述照明控制装置进行了控制的状态下对上述微粒进行摄像而获得的图像;上述反射光图像是以将上述第二光的装置发光面亮度设为在1或2以上的条件下被设定的规定亮度且将上述第一光的装置发光面亮度设为不为0的规定亮度的方式由上述照明控制装置进行了控制的状态下对上述微粒进行摄像而获得的图像;以及图像处理装置,将在上述透射光图像中被识别为上述微粒的摄像图像的候补的1个或2个以上的透射光粒子的位置及大小与在上述反射光图像中被识别为上述微粒的摄像图像的候补的1个或2个以上的反射光粒子的位置及大小进行比较,由此使位置及大小的差在规定范围以内的上述透射光粒子与上述反射光粒子建立对应,基于该建立对应结果,计算上述透射光粒子的位置及大小来作为上述微粒的位置及大小,并且计算上述反射光粒子或上述透射光粒子的代表明亮度来作为上述微粒的明亮度。
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