[发明专利]粒子测定装置以及粒子测定方法

权利要求书

1.一种粒子测定装置，其特征在于，具有：

载物台，具有载置面，该载置面上载置有散布了不透明的微粒的透明基板，或者直接散布有上述微粒；

反射光用照明装置，设于该载物台的上述载置面一侧，并朝向该载物台照射具有规定的装置发光面亮度的第一光；

透射光用照明装置，设于上述载物台的与上述载置面相反的一侧，并朝向上述载物台照射具有规定的装置发光面亮度的第二光；

照明控制装置，分别单独地控制上述第一光的装置发光面亮度和上述第二光的装置发光面亮度；

摄像装置，具有生成透射光图像的透射光图像生成部和生成反射光图像的反射光图像生成部，并相对于上述载物台设置在上述载置面一侧，其中，上述透射光图像是以将上述第二光的装置发光面亮度设为不为0的规定亮度且将上述第一光的装置发光面亮度设为0的方式由上述照明控制装置进行了控制的状态下对上述微粒进行摄像而获得的图像；上述反射光图像是以将上述第二光的装置发光面亮度设为在1或2以上的条件下被设定的规定亮度且将上述第一光的装置发光面亮度设为不为0的规定亮度的方式由上述照明控制装置进行了控制的状态下对上述微粒进行摄像而获得的图像；以及

图像处理装置，将在上述透射光图像中被识别为上述微粒的摄像图像的候补的1个或2个以上的透射光粒子的位置及大小与在上述反射光图像中被识别为上述微粒的摄像图像的候补的1个或2个以上的反射光粒子的位置及大小进行比较，由此使位置及大小的差在规定范围以内的上述透射光粒子与上述反射光粒子建立对应，基于该建立对应结果，计算上述透射光粒子的位置及大小来作为上述微粒的位置及大小，并且计算上述反射光粒子或上述透射光粒子的代表明亮度来作为上述微粒的明亮度。

2.根据权利要求1所述的粒子测定装置，其特征在于，

上述图像处理装置具有：

透射光粒子检测部，基于使用规定的明亮度阈值对上述透射光图像进行二值化而获得的图像的明亮度分布，将上述透射光图像的像素坐标中明亮度比规定明亮度低的像素集合而成的像素区域确定为上述透射光粒子存在的区域，并对该透射光粒子的存在区域内的像素的位置坐标进行检测；

透射光粒子信息计算部，基于该透射光粒子检测部的检测结果，至少计算出上述透射光粒子的位置及大小；

反射光粒子检测部，基于上述反射光图像的明亮度分布，将上述反射光图像的像素坐标中与周围像素的明亮度差在规定值以上的像素集合而成的像素区域确定为上述反射光粒子存在的区域，并对该反射光粒子的存在区域内的像素的位置坐标进行检测；

反射光粒子信息计算部，基于上述反射光粒子检测部的检测结果，至少计算出上述反射光粒子的位置及大小；

建立对应处理部，基于上述透射光粒子信息计算部的计算结果以及上述反射光粒子信息计算部的计算结果，将上述反射光粒子的位置及大小与所有上述透射光粒子的位置及大小进行比较，使位置及大小的差分别在规定范围以内的上述透射光粒子与上述反射光粒子建立对应，并将与任何上述透射光粒子均没有建立对应的上述反射光粒子从上述微粒的摄像图像的候补中排除；以及

粒子信息计算部，计算上述透射光粒子的位置及大小来作为上述微粒的位置及大小，计算与上述透射光粒子建立了对应的上述反射光粒子的代表明亮度来作为上述微粒的明亮度，并且计算与任何上述反射光粒子均没有建立对应的上述透射光粒子的明亮度来作为规定明亮度。

3.根据权利要求2所述的粒子测定装置，其特征在于，

在以上述反射光图像上的上述反射光粒子的背景明亮度成为比用于区别粒子明暗的明亮度阈值高的明亮度的方式由上述照明控制装置设定了上述第二光的装置发光面亮度的状态下，上述反射光图像生成部生成上述反射光图像；

上述反射光粒子检测部基于使用用于区别上述粒子明暗的明亮度阈值对上述反射光图像进行二值化而获得的图像的明亮度分布，将上述反射光图像的像素坐标中明亮度比规定明亮度低的像素集合而成的像素区域确定为上述反射光粒子存在的区域，并对上述反射光粒子的存在区域内的像素的位置坐标进行检测；

上述粒子信息计算部将对应于与上述反射光粒子建立了对应的上述透射光粒子的上述微粒，识别为暗色粒子，该暗色粒子具有比用于区别上述粒子明暗的明亮度阈值低的明亮度，上述粒子信息计算部将对应于与任何上述反射光粒子均没有建立对应的上述透射光粒子的上述微粒，识别为亮色粒子，该亮色粒子具有比用于区别上述粒子明暗的明亮度阈值高的明亮度。