[发明专利]含水抛光剂和接枝共聚物及其在抛光图案化和未结构化的金属表面的方法中的用途有效

专利信息
申请号: 201180010931.4 申请日: 2011-01-19
公开(公告)号: CN102782067A 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: V·I·莱曼;I·古拜杜林;M·布兰茨;Y·李;M·佩雷托奇 申请(专利权)人: 巴斯夫欧洲公司
主分类号: C09G1/02 分类号: C09G1/02;C09K3/14
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 肖威;刘金辉
地址: 德国路*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种含水抛光剂,其包含作为磨料的至少一种细分散于水相中且在其表面处具有多个至少一种能与待抛光表面上的金属和/或金属氧化物相互作用并与所述金属和金属阳离子形成配合物的官能团(a1)的聚合物颗粒(A),其中所述聚合物颗粒(A)可通过在至少一种包含多个官能团(a1)的低聚物或聚合物存在下乳液聚合或悬浮聚合至少一种包含至少一个可自由基聚合双键的单体而制备;接枝共聚物,其可通过在至少一种低聚或聚合氨基三嗪-多胺缩合物存在下乳液聚合或悬浮聚合至少一种包含至少一个可自由基聚合双键的单体而制备;以及一种使用所述含水抛光剂化学机械抛光图案化和未结构化的金属表面的方法。
搜索关键词: 含水 抛光 接枝 共聚物 及其 图案 结构 金属表面 方法 中的 用途
【主权项】:
一种含水抛光剂,其包含作为磨料的至少一种细分散于水相中且在其表面处具有多个至少一种能与待抛光表面上的金属和/或金属氧化物相互作用并与所述金属和金属阳离子形成配合物的官能团(a1)的聚合物颗粒(A),其中所述聚合物颗粒(A)可通过在至少一种包含多个官能团(a1)的低聚物或聚合物存在下乳液聚合或悬浮聚合至少一种包含至少一个可自由基聚合双键的单体而制备。
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