[发明专利]标靶成形有效
| 申请号： | 201180010710.7 | 申请日： | 2011-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102834543A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | S.卡德莱克;J.魏夏特 | 申请（专利权）人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姜云霞;杨炯 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于物理气相沉积系统的标靶，包括顶部、底部及基部。所述基部主要是由待溅镀的标靶的表面所形成。第一内环及第二内环从基部延伸。每一个环都具有内侧和外侧，其中通过靠近标靶的磁铁配置，溅镀集中在外侧。 | ||
| 搜索关键词： | 成形 | ||
【主权项】：
一种用于物理气相沉积系统的标靶，标靶包括：基部（205），具有中心和边缘（240）；第一内环（200），从基部（205）延伸；及第二外环（210），从基部（205）延伸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于OC欧瑞康巴尔斯公司，未经OC欧瑞康巴尔斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180010710.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
