[发明专利]溅射靶-背衬板组装体无效
| 申请号： | 201180010057.4 | 申请日： | 2011-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN102812152A | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 池田祐希;中村祐一郎;荒川笃俊 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/14;B22F7/08;C04B35/00;C04B35/622;C22C1/04;C22C1/05;C22C5/04;C22C19/07;C22C33/02;C22C38/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射靶-背衬板组装体，其特征在于，通过将以成为磁性材料溅射靶的组成的方式配合的原料粉末与背衬板一起填充到模具中并进行热压，在所述磁性材料靶粉末烧结的同时与背衬板接合而得到。本发明的课题在于通过在背衬板上配置靶的原料粉末并进行烧结，得到能够得到高平均漏磁通，可以更稳定地进行溅射的溅射靶-背衬板组装体。另外，本发明通过将烧结和接合同时进行，提供制造工序少，可以缩短制造时间，不会由于溅射中的温度上升而引起剥离问题的该组装体。另外，本发明的课题在于可以降低成本和提高PTF（漏磁通）的溅射靶-背衬板组装体。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 背衬板 组装 | ||
【主权项】：
一种溅射靶‑背衬板组装体，其特征在于，通过将以成为磁性材料溅射靶的组成的方式配合的原料粉末与背衬板一起填充到模具中并进行热压，在所述磁性材料靶粉末烧结的同时与背衬板接合而得到。
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