[发明专利]在处理室内对至少一个工件实施碳氮共渗的方法有效
| 申请号： | 201180009610.2 | 申请日： | 2011-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN102762760A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | J·施瓦策尔;L·豪吉马希;T·瓦尔登迈尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/30 | 分类号： | C23C8/30;C23C8/32;C23C8/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李振东;过晓东 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在处理室（16）内对至少一个工件（12）实施碳氮共渗的方法，其中将至少一种工艺气体（28；30）导入处理室（16）中，其中检测在处理室（16）内产生的气氛（46）中的氢含量（44），并且通过导入的工艺气体（28；30）的量的影响使其至少暂时地保持在所期望的范围（55；57）内。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 室内 至少 一个 工件 实施 碳氮共渗 方法 | ||
【主权项】：
用于在处理室（16）内对至少一个工件（12）实施碳氮共渗的方法，其中将至少一种工艺气体（28；30）导入处理室（16）中，其特征在于，检测在处理室（16）内产生的气氛（46）中的氢含量（44），并且通过导入的工艺气体（28；30）的量的影响使其至少暂时地保持在所期望的范围（55；57）内。
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