[发明专利]在处理室内对至少一个工件实施碳氮共渗的方法

权利要求书

1.用于在处理室（16）内对至少一个工件（12）实施碳氮共渗的方法，其中将至少一种工艺气体（28；30）导入处理室（16）中，其特征在于，检测在处理室（16）内产生的气氛（46）中的氢含量（44），并且通过导入的工艺气体（28；30）的量的影响使其至少暂时地保持在所期望的范围（55；57）内。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，调节被引入处理室（16）中的工艺气体（28；30）的流量。

3.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，所述工艺气体包括碳供体气体（28）。

4.根据权利要求3的方法，其特征在于，所述碳供体气体（28）包括选自以下组中的化合物：乙炔、乙烯、丙烷、丙烯、甲烷、环己烷、环戊烷或其混合物。

5.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，所述工艺气体包括氮供体气体（30）。

6.根据权利要求5的方法，其特征在于，所述氮供体气体（30）包括选自以下组中的化合物：氨气、氮气或其混合物。

7.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，利用至少两种化学上不同的工艺气体（28；30）依次对工件（12）实施化学作用，并且在气态工艺阶段（D；C）之间对处理室（16）至少部分地抽真空。

8.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，利用至少两种化学上不同的工艺气体（28；30）依次对工件（12）实施化学作用，并且在气态工艺阶段（D；C）之间用惰性气体对处理室（16）进行吹洗。

9.根据权利要求7或8的方法，其特征在于，在所检测的所述气氛（46）的氢含量（44）不超过预先给定的阈值（45）时结束抽真空或吹洗。

10.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，利用相同种类的工艺气体（28；30）实施两个工艺阶段，并且在这两个工艺阶段之间抽真空或者进行吹洗。

11.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，利用相同种类的工艺气体（28；30）实施两个工艺阶段，并且在这两个工艺阶段之间不将工艺气体送入处理室（16），并且不抽真空也不进行吹洗。

12.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，给处理室（16）、工艺气体（28；30）和/或所述气氛（46）供热。

13.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，处理温度（T）在750℃至1050℃的范围内。

14.根据前述权利要求之一的方法，其特征在于，降低碳供体气体（28）的流量，从而减少或避免在处理室（16）的气氛（46）内形成炭黑。

15.用于对一个或多个工件（12）实施碳氮共渗的处理室（16），其特征在于，其包括至少一个用于引入供体气体的可调节的入口（20，22）、用于排出气体或气体组合物的出口（40）以及用于测定氢含量（44）的传感器（36）。

16.用于对一个或多个工件（12）实施碳氮共渗的处理室（16）的控制装置和/或调节装置（38），其特征在于，对其进行编程以应用于根据权利要求1至14之一的方法。