[发明专利]用于减少圆形装置中的箔褶皱的组件和方法

摘要

本发明涉及用在电子束装置中的托板（22）和出射窗箔（20）的组件，所述托板（22）被设计为减少所述箔（20）中的褶皱，这些褶皱可能由于在装配过程中出现过剩的箔而产生。沿着连续的结合线（26）将所述箔（20）结合到所述托板（22）上，连续的结合线（26）围成大体上圆形的区域，在该区域内，所述托板（22）设置有孔和箔支承部分，以及在该区域内，所述箔适于作为所述电子束装置的真空密封外壳的壁的一部分。本发明还涉及在填充机中使用所述组件的方法，以及减少褶皱的方法。

主权项

用在电子束装置（10）中的托板(22)和出射窗箔(20)的组件，所述托板（22）被设计为减少所述箔（20）中的褶皱，这些褶皱能够由于在该装配过程中出现过剩的箔而产生，沿着闭合的结合线（26）将所述箔（20）结合到所述托板（22）上，该闭合的结合线（26）围成大体上圆形的区域，在该区域内，所述托板（22）设置有孔（28）和箔支承部分（34），以及在该区域内，所述箔（20）适于作为所述电子束装置（10）的真空密封外壳的壁的一部分（14），所述组件其特征在于，在所述区域内，所述托板（22）设置成孔（28）和箔支承部分（34）相互间隔的模式，当在所述外壳（14）内形成真空时，所述模式适于形成充分地吸收任何过剩的箔的所述箔（20）的拓扑轮廓。