[发明专利]感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件有效
申请号: | 201180006656.9 | 申请日: | 2011-01-19 |
公开(公告)号: | CN102725694A | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 小野敬司;峰岸知典;大江匡之;小谷真志;绀野琢 | 申请(专利权)人: | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/085 | 分类号: | G03F7/085;C08G69/02;C08K5/13;C08K5/1515;C08K5/1525;C08K5/17;C08K5/3445;C08K5/41;C08K5/5419;C08K5/56;C08L77/00;G03F7/004;G03F7/023 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;於毓桢 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种感光性聚合物组合物,其含有(a)可溶于碱性水溶液的聚合物、(b)通过光产生酸的化合物、(c)铝络合物粘接助剂、(d)具有-CH2OR(R是氢原子或1价的有机基团)所示的基团的交联剂而形成。 | ||
搜索关键词: | 感光性 聚合物 组合 图形 制造 方法 以及 电子 部件 | ||
【主权项】:
一种感光性聚合物组合物,其含有下述成分(a)~(d)而形成:(a)可溶于碱性水溶液的聚合物;(b)通过光产生酸的化合物;(c)铝络合物;(d)具有‑CH2OR所示的基团的交联剂,其中,R是氢原子或1价的有机基团。
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