[发明专利]感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件

权利要求书

1.一种感光性聚合物组合物，其含有下述成分（a）~（d）而形成：

（a）可溶于碱性水溶液的聚合物；

（b）通过光产生酸的化合物；

（c）铝络合物；

（d）具有-CH₂OR所示的基团的交联剂，其中，R是氢原子或1价的有机基团。

2.根据权利要求1所述的感光性聚合物组合物，其中，（d）交联剂是下述式（1）所示的化合物或者下述式（2）所示的化合物，

式中，多个R⁷各自独立地是氢原子或1价的有机基团，多个R⁸各自独立地是氢原子或1价的有机基团，也可以互相结合而形成可以具有取代基的环结构，

式中，X是单键或1~4价的有机基团，R¹¹是氢原子或1价的有机基团，R¹²是1价的有机基团，o是1~4的整数，a是1~4的整数，b是0~3的整数，R¹¹、R¹²各自有多个时可以相同也可以不同。

3.根据权利要求2所述的感光性聚合物组合物，其中，所述（d）成分是式（1）所示的化合物。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，所述（a）成分是具有下述式（I）所示的结构单元的碱水溶液可溶性聚酰胺，

式中，U是4价的有机基团，V是2价的有机基团。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，所述（c）成分是铝螯合物。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，所述（c）成分是下述式（II）所示的铝螯合物，

式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆各自独立地是氢原子或1价的有机基团。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，进一步含有（e）烷氧基硅烷粘接剂。

8.根据权利要求1~6中任一项所述的感光性聚合物组合物，其中，相对于（a）成分100重量份，含有（b）成分5~100重量份、（c）成分0.1~50重量份、（d）成分1~30重量份。

9.根据权利要求7所述的感光性聚合物组合物，其中，相对于（a）成分100重量份，含有（b）成分5~100重量份、（c）成分0.1~50重量份、（d）成分1~30重量份、（e）成分0.1~20重量份。

10.一种图形的制造方法，其包含将权利要求1~9中任一项所述的感光性聚合物组合物涂布在支撑基板上并进行干燥的工序、进行曝光的工序、进行显影的工序以及进行加热处理的工序。

11.根据权利要求10所述的图形的制造方法，其中，所述进行曝光的工序中使用的光源是i射线。

12.一种固化物，其是将权利要求1~9中任一项所述的感光性聚合物组合物固化而形成的。

13.一种电子部件，其具有权利要求12所述的固化物作为表面保护膜或层间绝缘膜而形成。