[发明专利]用于确定对准误差的装置、设备和方法

摘要

本发明涉及一种用于确定由于当第一基底（1）连接于第二基底（2）时第一基底（1）相对于第二基底（2）的应变和/或变形而发生的局部对准误差的装置、设备和方法，并且所述装置、设备和方法用于特别地通过晶圆中的至少一个的至少一个透明区域，借助于在晶圆的对准期间和/或之后记录的晶圆的位置图、应变图和/或应力图进行两个晶圆的对准，可选地，两个晶圆相对于彼此的相对位置特别地在原地被校正。

主权项

一种装置，用于确定由于当第一基底（1）连接于第二基底（2）时所述第一基底（1）相对于所述第二基底（2）的应变和/或变形而出现的局部对准误差，所述装置具有以下特征：– 能够通过初始检测装置检测沿所述第一基底（1）的第一接触表面（1k）的应变值的第一应变图和/或沿所述第一接触表面（1k）的应力值的第一应力图，和/或– 能够通过所述检测装置检测沿第二接触表面（2k）的应变值的第二应变图和/或沿所述第二接触表面（2k）的应力值的第二应力图，以及– 评价装置，所述评价装置用于评价所述第一应变图和/或所述第二应变图和/或所述第一应力图和/或所述第二应力图，能够通过所述评价装置确定局部对准误差。