[发明专利]具有碳化硅衬底的复合衬底

摘要

第一碳化硅衬底(11)具有与支撑部(30)相连接的第一背面(B 1)、与第一背面(B 1)相反的第一正面(T 1)以及将第一背面(B 1)和第一正面(T 1)彼此连接的第一侧面(S 1)。第二碳化硅衬底(12)具有与支撑部(30)相连接的第二背面(B2)、与第二背面(B2)相反的第二正面(T2)以及将第二背面(B2)和第二正面(T2)彼此连接的第二侧面(S2)，并且在第一侧面(S 1)和第二侧面(S2)之间形成有间隙(GP)。封闭部(21)封闭间隙(GP)。由此，能够防止异物残留在复合衬底中提供的多个碳化硅衬底之间的间隙中。

主权项

一种复合衬底(81)，包括：支撑部(30)；第一碳化硅衬底(11)，所述第一碳化硅衬底具有与所述支撑部相连接的第一背面(B 1)、与所述第一背面相反的第一正面(T 1)、以及将所述第一背面和所述第一正面彼此连接的第一侧面(S1)，第二碳化硅衬底(12)，所述第二碳化硅衬底具有与所述支撑部相连接的第二背面(B2)、与所述第二背面相反的第二正面(T2)、以及将所述第二背面和所述第二正面彼此连接的第二侧面(S2)，并且在所述第一侧面和所述第二侧面之间形成有间隙(GP)；以及封闭部(21)，所述封闭部用于封闭所述间隙。