[发明专利]声音传感器与麦克风有效
| 申请号： | 201180001987.3 | 申请日： | 2011-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN102771143A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 笠井隆 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一个能够提高传感器信噪比而不妨碍缩小其尺寸的声音传感器。一后室(45)在硅质基板(42)上垂直开口。被作为可移动电极板的一薄膜状的隔膜(43)形成在硅质基板(42)的顶表面上以盖住后室(45)。后挡板(48)被固定在硅质基板(42)的顶表面上以盖住隔膜(43)，固定电极板(49)被置于在后挡板(48)的下表面上。另外，隔膜(43)被裂缝(47)分割成多个区域，被分割的各个隔膜(43a、43b)与固定电极板(49)构成多个并联的电容(声音传感部分(60a、60b))。 | ||
| 搜索关键词： | 声音 传感器 麦克风 | ||
【主权项】：
一种声音传感器，包括：一基板，有一中空部分；一薄的膜状隔膜，置于基板上以盖住所述中空部分；一可移动电极板，在所述隔膜上；一后挡板，固定在所述基板的顶表面上，以与所述隔膜相对；和一固定电极板，在所述后挡板上与所述可移动电极板相对的位置，其特征在于：所述隔膜和所述可移动电极板被大体上分割成多个区域，所述各个被分割的可移动电极板与所述固定电极板构成多个并联的电容。
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