[发明专利]声音传感器与麦克风

权利要求书

1.一种声音传感器，包括：

一基板，有一中空部分；

一薄的膜状隔膜，置于基板上以盖住所述中空部分；

一可移动电极板，在所述隔膜上；

一后挡板，固定在所述基板的顶表面上，以与所述隔膜相对；和

一固定电极板，在所述后挡板上与所述可移动电极板相对的位置，

其特征在于：所述隔膜和所述可移动电极板被大体上分割成多个区域，所述各个被分割的可移动电极板与所述固定电极板构成多个并联的电容。

2.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于：所述隔膜和所述可移动电极板被裂缝分割。

3.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于：所述裂缝在一通过该隔膜的最大位移处的位置。

4.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于被该裂缝分割的该隔膜的所述各个区域在该裂缝两边藉由其间的裂缝都有最大位移处。

5.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于该裂缝位于连接所述隔膜任何两个支撑处的线段上。

6.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于该裂缝被部分的打断，和所述隔膜的各个区域，其位于裂缝两边藉由置于其间的裂缝，通过该裂缝的打断部位彼此部分连接。

7.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于所述裂缝的宽度不超过10μm。

8.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于所述裂缝的长度不小于在裂缝延伸方向上隔膜跨跃长度的一半。

9.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于所述隔膜是圆形的。

10.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于所述隔膜是矩形的。

11.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于所述隔膜的边缘是用基板和后挡板上多个支撑点处所支撑的，一个空隙在相邻支撑处之间的至少一处出现。

12.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于所述声音振动通过所述中空部分到达该隔膜。

13.一麦克风，包括：

一根据权利要求1所述的声音传感器；和

一用来处理输出自声音传感器的信号的电路。