[实用新型]用于碳化硅表面处理的水冷却装置

摘要

本实用新型提供了一种用于碳化硅表面处理的水冷却装置，用于碳化硅晶片在碳化硅表面氢等离子体处理后的冷却，它有冷却室，冷却室内有环状的中空托架，中空托架与推臂固定在一起，中空托架内腔两端分别与推臂内的隔板分隔出的进水腔体、回水腔体的内腔相连通，进水腔体的一侧有阀门。这种水冷却装置，可在短时间内实现碳化硅晶片的冷却，降低了碳化硅被污染的几率，节省了时间，提高了工作效率。

主权项

用于碳化硅表面处理的水冷却装置，其特征在于，它有冷却室(1)，冷却室内有环状的中空托架(2)，中空托架与推臂(9)固定在一起，中空托架内腔两端分别与推臂内的隔板(4)分隔出的进水腔体(6)、回水腔体(7)的内腔相连通，进水腔体的一侧有阀门(8)。