[实用新型]一种直拉硅单晶惰性保护气体转换及互锁装置有效
| 申请号： | 201120557414.6 | 申请日： | 2011-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202465948U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 刘英江;李广哲;陶建涛;楚世涛;冯立涛 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司;晶龙实业集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 石家庄汇科专利商标事务所 13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 055550 河北省邢台*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及直拉单晶硅生产技术领域，具体为一种直拉硅单晶惰性保护气体转换及互锁装置，包括由两个并联的氩气流量计和控制两个氩气流量计同时开启的氩气控制球阀组成的氩气充气装置；还包括由氮气流量计和控制氮气流量计开启的氮气控制球阀组成的氮气充气装置，以及使得所述两个充气装置在同一时刻只能使用一个的机械互锁装置。本实用新型在单晶生长过程的部分阶段使用氮气替换氩气，降低了生产成本；采用U形卡槽，保证两个控制球阀在同一时刻只能开启一个，实现了氮气与氩气的安全、准确切换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉硅单晶 惰性 保护 气体 转换 互锁 装置 | ||
【主权项】：
一种直拉硅单晶惰性保护气体转换及互锁装置，包括由两个并联的氩气流量计（3）和控制两个氩气流量计（3）同时开启的氩气控制球阀（1）组成的氩气充气装置；其特征在于：还包括由氮气流量计（4）和控制氮气流量计（4）开启的氮气控制球阀（2）组成的氮气充气装置，以及使得所述两个充气装置在同一时刻只能使用一个的机械互锁装置。
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