[实用新型]一种直拉硅单晶惰性保护气体转换及互锁装置有效
| 申请号： | 201120557414.6 | 申请日： | 2011-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202465948U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 刘英江;李广哲;陶建涛;楚世涛;冯立涛 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司;晶龙实业集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 石家庄汇科专利商标事务所 13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 055550 河北省邢台*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直拉硅单晶 惰性 保护 气体 转换 互锁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种直拉硅单晶惰性保护气体转换及互锁装置，包括由两个并联的氩气流量计（3）和控制两个氩气流量计（3）同时开启的氩气控制球阀（1）组成的氩气充气装置；其特征在于：还包括由氮气流量计（4）和控制氮气流量计（4）开启的氮气控制球阀（2）组成的氮气充气装置，以及使得所述两个充气装置在同一时刻只能使用一个的机械互锁装置。
2.根据权利要求1所述的直拉硅单晶惰性保护气体转换及互锁装置，其特征在于：所述机械互锁装置为U形卡槽（5），U形卡槽（5）的两个侧面上开有一个球阀手柄旋转口（6），U形卡槽（5）的底面上设有滑道，氩气控制球阀（1）和氮气控制球阀（2）的手柄转轴位于滑道内。
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