[实用新型]带硅粉处理装置的多晶硅还原炉有效
申请号: | 201120548547.7 | 申请日: | 2011-12-24 |
公开(公告)号: | CN202575997U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 陈其国 | 申请(专利权)人: | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221004 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种带硅微粉处理装置的多晶硅还原炉,由炉筒,炉体、底盘构成,炉筒上有冷却水腔,冷却水进水口、冷却水出水口、视镜,底盘上有电极、进气口、尾气排出口,炉筒与底盘之间用法兰连接,其特征在于本实用新型在位于底盘上部的还原炉出口或/和在还原炉尾气出口管内壁上设有由钨、铌、钽金属或其金属合金或金属硅化物组成的机构,夹带硅微粉的多晶硅还原炉尾气通过网状装置和还原炉尾气管时,在钨、铌、钽金属或其金属合金或金属硅化物的催化作用下,硅微粉和四氯化硅、氢气一起转化为三氯氢硅,同时尾气中的氯化氢和硅微粉反应形成四氯化硅和三氯氢硅,可有效除去还原炉尾气中的少量硅微粉或/和氯化氢。 | ||
搜索关键词: | 带硅粉 处理 装置 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种带有硅微粉处理装置的多晶硅还原炉,由炉筒,炉体、底盘构成,炉筒上有冷却水腔,冷却水进水口、冷却水出水口、视镜,底盘上有电极、进气口、尾气排出口,炉筒与底盘之间用法兰连接,其特征在于位于底盘上部的还原炉尾气排出口部件设置有由金属硅化物或钨、铌、钽金属或其金属合金组成的机构。
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