[实用新型]一种小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置

摘要

本实用新型涉及一种小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，包括硒源蒸发室和衬底，其特点：所述固态硒上面的硒源蒸发室内固装有两层均匀布满孔径小于0.5mm的多孔栅板；两层多孔栅板之间形成高温裂解室，上一层的多孔栅板的上面出口为裂解硒源出口。本实用新型采用将硒蒸气高温穿过两层多孔栅板，由Sen（n≥5）大原子团裂解为Sen（n<5）小原子团，增加了高活性Se2的数量，提高了硒元素的反应活性，有效改善了铜铟镓硒薄膜太阳电池CIGS层的成膜质量，对提高铜铟镓硒薄膜太阳电池的光电转换效率起到积极作用；通过喷孔把小原子团的硒蒸气直接喷射到衬底表面，使硒材料充分参与CIGS层的反应成膜过程，从而提高硒材料利用率。

主权项

一种小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，包括带有控温加热器并内置有固态硒的硒源蒸发室和真空腔室内用于喷射硒源的衬底，其特征在于：所述固态硒上面的硒源蒸发室内固装有两层均匀布满孔径小于0.5mm的多孔栅板；两层多孔栅板之间形成高温裂解室，上一层的多孔栅板的上面出口为裂解硒源出口。