[实用新型]一种小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置

权利要求书

1.一种小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，包括带有控温加热器并内置有固态硒的硒源蒸发室和真空腔室内用于喷射硒源的衬底，其特征在于：所述固态硒上面的硒源蒸发室内固装有两层均匀布满孔径小于0.5mm的多孔栅板；两层多孔栅板之间形成高温裂解室，上一层的多孔栅板的上面出口为裂解硒源出口。

2.根据权利要求1所述的小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，其特征在于：所述裂解硒源出口上连接有出气管道，所述出气管道为不锈钢管围成的圈状物作，出气管道的外周上有一作为进气口的孔；出气管道的一面管上布满作为喷孔的小孔，喷孔对准衬底。

3.根据权利要求1所述的小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，其特征在于：所述多孔栅板为氮化硼材料。

4.根据权利要求1所述的小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，其特征在于：所述硒源蒸发室外面及连接出气管道的外面均包有陶瓷棉保温层。

5.根据权利要求1所述的小面积衬底表面喷射裂解硒源用装置，其特征在于：所述全部装置均位于真空室腔内。