[实用新型]一种单晶炉拉升腔体用清理工具有效
| 申请号: | 201120531743.3 | 申请日: | 2011-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN202401159U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
| 发明(设计)人: | 冯东印;朱泓 | 申请(专利权)人: | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;B08B1/00 |
| 代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 215618 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型公开一种单晶炉拉升腔体用清理工具,包括清洁圆盘和连接柄;所述连接柄与清洁圆盘的中部连接。与现有技术相比,本实用新型所提供的单晶炉拉升腔体用清理工具可更便捷清理拉升腔内部的粉尘,并且清洁的更彻底,在节省生产时间的同时,利于产出更高质量的单晶,制造更纯净的产品。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉拉升腔 体用 清理 工具 | ||
【主权项】:
一种单晶炉拉升腔体用清理工具,其特征在于:包括清洁圆盘(1)和连接柄;所述连接柄与清洁圆盘(1)的中部连接。
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