[实用新型]一种单晶炉拉升腔体用清理工具有效
| 申请号: | 201120531743.3 | 申请日: | 2011-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN202401159U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
| 发明(设计)人: | 冯东印;朱泓 | 申请(专利权)人: | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;B08B1/00 |
| 代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
| 地址: | 215618 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶炉拉升腔 体用 清理 工具 | ||
1.一种单晶炉拉升腔体用清理工具,其特征在于:包括清洁圆盘(1)和连接柄;所述连接柄与清洁圆盘(1)的中部连接。
2.如权利要求1所述的单晶炉拉升腔体用清理工具,其特征在于:所述清洁圆盘(1)上缠绕有无尘布。
3.如权利要求1所述的单晶炉拉升腔体用清理工具,其特征在于:所述连接柄包括上连接杆(2)和下连接杆(3);所述上连接杆(2)和下连接杆(3)通过卡槽(5)、卡销(6)和卡套(7)连接。
4.如权利要求3所述的单晶炉拉升腔体用清理工具,其特征在于:所述卡槽(5)设在上连接杆(2)的端部;所述卡销(6)设在下连接杆(3)的端部;所述卡套(7)固定在下连接杆(3)上,当卡销(6)卡在卡槽(5)内时,卡套(7)与卡槽(5)外周面紧配合。
5.如权利要求1或2所述的单晶炉拉升腔体用清理工具,其特征在于:所述清洁圆盘(1)上设有用于加强清洁圆盘强度(1)的支撑架(8)。
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