[实用新型]一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道有效
| 申请号： | 201120525759.3 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN202400967U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张建 | 申请（专利权）人： | 佛山市中南罗森玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 521837 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，包括第一进气管道、第二进气管道、第三进气管道、主供气管道和三个以上分供气管道，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道分别与主供气管道连通；所述分供气管道的一端与主供气管道连通，另一端设置有两个连通所述玻璃镀膜仓溅射室的出气口。采用本实用新型可同时为溅射室提供三种不同的气体，还可以通过在进气管道上设置控制阀和流量监控器来精确控制所供气体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 溅射 综合 供气 管道 | ||
【主权项】：
一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，包括第一进气管道、第二进气管道、第三进气管道、主供气管道和三个以上分供气管道，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道分别与主供气管道连通；所述分供气管道的一端与主供气管道连通，另一端设置有两个连通所述玻璃镀膜仓溅射室的出气口。
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