[实用新型]一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道有效
| 申请号： | 201120525759.3 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN202400967U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张建 | 申请（专利权）人： | 佛山市中南罗森玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 521837 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 溅射 综合 供气 管道 | ||
【权利要求书】：
1.一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，包括第一进气管道、第二进气管道、第三进气管道、主供气管道和三个以上分供气管道，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道分别与主供气管道连通；所述分供气管道的一端与主供气管道连通，另一端设置有两个连通所述玻璃镀膜仓溅射室的出气口。
2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道上分别设置有控制阀。
3.根据权利要求1所述的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道上分别设置有流量监控器。
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