[实用新型]一种玻璃表面溅镀设备氩气通气管改进结构有效
| 申请号： | 201120518861.0 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN202390315U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 谢隆兴;陈康;郭卓越 | 申请（专利权）人： | 宸阳光电科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 李宁;唐绍烈 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种玻璃表面溅镀设备氩气通气管改进结构，包括单元双出气管，单元双出气管具有上气孔和下气孔，在上气孔处向上延伸出第一出气孔，向下延伸出第二出气孔；在下气孔处向上延伸出第三出气孔，向下延伸出第四出气孔。本实用新型使膜厚均匀性可以达到0.3%±0.05%，提高了直流溅镀ITO导电膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 表面 设备 通气 改进 结构 | ||
【主权项】：
一种玻璃表面溅镀设备氩气通气管改进结构，包括单元双出气管，单元双出气管具有上气孔和下气孔，其特征在于：在上气孔处向上延伸出第一出气孔，向下延伸出第二出气孔；在下气孔处向上延伸出第三出气孔，向下延伸出第四出气孔。
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