[实用新型]电阻加载装置有效
申请号: | 201120513800.5 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN202363409U | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 许鹖;王毅栋;王林松;庞闻 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01J37/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种电阻加载装置,包括:外罩,所述外罩包括底壁、侧壁和顶壁;第一接头,固定在所述外罩的底壁上,与终端相连;触点开关,可活动式连接至所述外罩的侧壁,具有与外罩的顶壁相接触的第一位置和远离外罩的顶壁的第二位置;当在第一接头和触点开关之间加载一电阻时,触点开关位于第一位置,与高压放大器相连;当第一接头和触点开关之间未加载电阻时,触点开关位于第二位置,与高压放大器断开连接。本实用新型采用触点开关的活动连接方式,使得电阻安装拆卸方便,不易损坏,所述装置还设有电阻阻值显示装置,实时监测阻值,判断电阻是否加载及是否需要更换,从而使得后加速模块安全使用,以满足离子注入设备的高能量注入的需求。 | ||
搜索关键词: | 电阻 加载 装置 | ||
【主权项】:
一种电阻加载装置,连接在高压放大器和终端之间,其特征在于,包括:外罩,所述外罩包括底壁、侧壁和顶壁;第一接头,固定在所述外罩的底壁上,与终端相连;触点开关,可活动式连接至所述外罩的侧壁,具有与外罩的顶壁相接触的第一位置和远离外罩的顶壁的第二位置;当在第一接头和触点开关之间加载一电阻时,触点开关位于与外罩的顶壁相接触的第一位置,与高压放大器相连;当第一接头和触点开关之间未加载电阻时,触点开关位于远离外罩的顶壁的第二位置,与高压放大器断开连接。
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