[实用新型]电阻加载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种电阻加载装置。

背景技术

离子注入设备中根据产品工艺菜单的不同，需要的能量是不一致的。在需要对晶圆进行高能量注入时，一般在离子注入设备中启用后加速模块，使用后加速(ACCEL ASSY)加速离子前进速度，提高离子注入的能量。一般会在后加速模块上加载一个3.9KΩ的电阻(绿电阻)，用于连接高压放大器(High Voltage Stack)与终端(terminal)，起到分压限流作用，后加速的能量加在终端上，通过终端与大地之间产生的压差促使离子加速在晶圆表面，后加速模块在终端和大地两端产生能量负载在0KV-60KV之间。当没有加载绿电阻时，高压放大器与终端断开，后加速能量中断，会导致离子束萃取能量达不到离子注入的能量要求，即不能对晶圆进行高能量注入。

目前的设备中没有自带绿电阻阻值检测装置，不能检测绿电阻是否加载或损坏，只能在每次进行维护的时候由设备工程师对绿电阻进行检查和测量，如果发现问题时，立即对绿电阻进行更换。此外，由于电阻拆卸后设备不能自行中断相应的操作，因此每次在拆下绿电阻的情况下，设备工程师必须和工艺人员进行沟通，要求他们把高能工艺全部限制，停止使用，以免高能量注入不符合要求。

现在所有离子注入设备已经全部安装有绿电阻，以备不时之需。绿电阻发生过热和火花等现象的时候会使绿电阻损坏。由于没有安全和简单的方法来监测绿电阻，只能限制使用工艺菜单来完成，给工作带来很大困难。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种电阻加载装置，以简单安全的安装拆卸后加速模块上的电阻，实时监测电阻阻值变化，以便后加速电压在高能量注入时开启。

本实用新型的技术解决方案是一种电阻加载装置，连接在高压放大器和终端之间，包括：

外罩，所述外罩包括底壁、侧壁和顶壁；

第一接头，固定在所述外罩的底壁上，与终端相连；

触点开关，可活动式连接至所述外罩的侧壁，具有与外罩的顶壁相接触的第一位置和远离外罩的顶壁的第二位置；

当在第一接头和触点开关之间加载一电阻时，触点开关位于与外罩的顶壁相接触的第一位置，与高压放大器相连；当第一接头和触点开关之间未加载电阻时，触点开关位于远离外罩的顶壁的第二位置，与高压放大器断开连接。

作为优选：所述触点开关包括弹性组件和第二接头，所述弹性组件一端固定在外罩的侧壁中，另一端通过连接柱连接至第二接头，所述第二接头用于连接电阻，在第一接头和第二接头之间加载一电阻时，触点开关位于与外罩的顶壁相接触的第一位置，与高压放大器相连；当第一接头和第二接头之间未加载电阻时，触点开关位于远离外罩的顶壁的第二位置，与高压放大器断开连接。

作为优选：所述弹性组件为弹簧。

作为优选：所述电阻的阻值为3.9KΩ。

作为优选：所述外罩由陶瓷材料制成。

作为优选：所述电阻加载装置还包括电阻阻值显示装置，所述电阻阻值显示装置设置在外罩的侧壁外侧。

与现有技术相比，本实用新型采用触点开关的活动连接方式，实现当电阻加载时，形成与后加速模块的连接，当电阻拆卸后，自动断开与后加速模块的连接，从而无需工艺人员手动停止高能工艺。所述电阻加载装置结构简单，所述后加速上的电阻安装拆卸方便，不易损坏，所述电阻加载装置还设有电阻阻值显示装置，用于判断电阻是否加载同时实时监测电阻阻值变化，判断电阻是否需要更换，从而使得后加速模块安全使用，以满足离子注入设备的高能量注入的需求。

附图说明

图1是本实用新型电阻加载装置的剖面图。

图2是本实用新型触点开关的结构示意图。

图3a-3b是本实用新型触点开关的状态示意图。

图4是本实用新型离子注入后加速的方框图。

具体实施方式

本实用新型下面将结合附图作进一步详述：

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。

其次，本发明利用示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

图1示出了本实用新型的电阻加载装置的剖面图。