[实用新型]多晶炉真空计定位装置及采用该定位装置的多晶炉有效
| 申请号： | 201120481689.6 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN202390575U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 吴学军;周凯平 | 申请（专利权）人： | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人： | 马长增 |
| 地址： | 753000 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种多晶炉真空计定位装置，其包括变径接头、三通、高真空隔膜阀、两个90度弯头、两个真空计。变径接头的一端通过抱箍连接在多晶炉腔体上，变径接头的另一端与三通的前端口连接。三通的左侧法兰与高真空隔膜阀的一端连接，三通的右侧法兰与其中一个90度弯头的一端连接；高真空隔膜阀的另一端与另一件90度弯头的一端连接；真空计分别对应安装在两个90度弯头的另一端。本实用新型还提供一种采用多晶炉真空计定位装置的多晶炉。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 真空计 定位 装置 采用 | ||
【主权项】：
一种多晶炉真空计定位装置，其特征在于：多晶炉真空计定位装置包括变径接头、三通、高真空隔膜阀、两个90度弯头、两个真空计；变径接头的一端通过抱箍连接在多晶炉腔体上，变径接头的另一端与三通的前端口连接；三通的左侧法兰与高真空隔膜阀的一端连接，三通的右侧法兰与其中一个90度弯头的一端连接；高真空隔膜阀的另一端与另一件90度弯头的一端连接；真空计分别对应安装在两个90度弯头的另一端。
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