[实用新型]多晶炉真空计定位装置及采用该定位装置的多晶炉

说明书

技术领域：

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种多晶炉真空计定位装置及采用该定位装置的多晶炉。

背景技术：

多晶炉是多晶硅料转化为多晶硅锭工艺过程中的必备设备，而多晶硅锭经工艺处理后又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅锭作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

在多晶硅铸锭过程中，真空计定位装置用于安装真空计，以利用真空计测量多晶炉腔体内的真空度。一般的真空计定位装置，是采用一个弯头和一个真空计配合的方式来实现的，其虽然结构简单，但是不易调节，容易造成测量结果不准确等现象。

发明内容：

有鉴于此，有必要提供一种控制和执行动作准确、灵敏、可靠性高的多晶炉真空计定位装置。

还有必要提供一种采用多晶炉真空计定位装置的多晶炉。

一种多晶炉真空计定位装置，其包括变径接头、三通、高真空隔膜阀、两个90度弯头、两个真空计。变径接头的一端通过抱箍连接在多晶炉腔体上，变径接头的另一端与三通的前端口连接。三通的左侧法兰与高真空隔膜阀的一端连接，三通的右侧法兰与其中一个90度弯头的一端连接；高真空隔膜阀的另一端与另一件90度弯头的一端连接；真空计分别对应安装在两个90度弯头的另一端。

一种采用多晶炉真空计定位装置的多晶炉，包括多晶炉真空计定位装置及多晶炉腔体。多晶炉真空计定位装置包括变径接头、三通、高真空隔膜阀、两个90度弯头、两个真空计。变径接头的一端通过抱箍连接在多晶炉腔体上，变径接头的另一端与三通的前端口连接。三通的左侧法兰与高真空隔膜阀的一端连接，三通的右侧法兰与其中一个90度弯头的一端连接；高真空隔膜阀的另一端与另一件90度弯头的一端连接；真空计分别对应安装在两个90度弯头的另一端。

本实用新型提供的多晶炉真空计定位装置安装在多晶炉上后测量多晶炉腔体内真空度时，利用安装在与三通的右侧法兰连接的90度弯头上的真空计粗测量多晶炉腔体内的真空度，再通过与高真空隔膜阀的另一端连接的90度弯头上的真空计精确的测量多晶炉腔体内的真空度，如此不需要跟换弯头及真空计就可实现多晶炉腔体内的真空度的粗侧、精确测，进而保证作业的安全，提高了真空度测量的准确性且减少了真空计损坏现象的发生。

附图说明：

附图1是一较佳实施方式的多晶炉真空计定位装置的结构示意图。

附图2是图1中多晶炉真空计定位装置的另一角度的结构示意图。

图中：多晶炉真空计定位装置10、变径接头11、三通12、前端口121、左侧法兰122、右侧法兰123、高真空隔膜阀13、90度弯头14、真空计15

具体实施方式：

本实用新型提供的多晶炉真空计定位装置安装在多晶炉的多晶炉腔体上，用于测量多晶炉内的真空度，请同时参看图1、图2，多晶炉真空计定位装置10包括变径接头11、三通12、高真空隔膜阀13、两个90度弯头14、两个真空计15。

变径接头11的一端通过抱箍连接在多晶炉腔体上，变径接头11的另一端与三通12的前端口121连接。三通12的左侧法兰122与高真空隔膜阀13的一端连接，三通12的右侧法兰123与其中一个90度弯头14的一端连接；高真空隔膜阀13的另一端与另一件90度弯头14的一端连接；真空计15分别对应安装在两个90度弯头14的另一端。

多晶炉铸锭过程中，使用多晶炉真空计定位装置10进行真空度测量时，利用安装在与三通12的右侧法兰123连接的90度弯头14上的真空计15粗测量多晶炉腔体内的真空度，再通过与高真空隔膜阀13的另一端连接的90度弯头14上的真空计15精确的测量多晶炉腔体内的真空度，如此不需要跟换弯头及真空计就可实现多晶炉腔体内的真空度的粗侧、精确测，进而保证作业的安全，提高了真空度测量的准确性且减少了真空计损坏现象的发生。