[实用新型]滑动传感器的护壳结构有效
| 申请号： | 201120478243.8 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN202329673U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陆铭;夏伟 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/24 | 分类号： | G01D11/24;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮;李辰 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种滑动传感器的护壳结构，所述滑动传感器位于一硅片加工区的上方，所述护壳结构包括用以收容滑动传感器的收容空间、朝向硅片加工区的底面以及与底面相对的顶面，所述底面设有一个对着硅片加工区的感应窗口，所述顶面完全封闭。本实用新型滑动传感器的护壳结构仅仅在底面设置一个感应窗口，并将顶面设置成完全封闭结构，防止硅片加工过程中的结晶或者水滓进入到收容空间内而残留在滑动传感器上，避免滑动传感器出现误报警现象。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 传感器 结构 | ||
【主权项】：
一种滑动传感器的护壳结构(200)，所述滑动传感器位置正对一硅片加工区，所述护壳结构(200)包括用以收容滑动传感器的收容空间(21)、朝向硅片加工区的底面(22)以及与底面(22)相对的顶面(23)，其特征在于：所述底面(22)设有一个对着硅片加工区的感应窗口(26)，所述顶面(23)完全封闭。
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