[实用新型]滑动传感器的护壳结构

权利要求书

1.一种滑动传感器的护壳结构(200)，所述滑动传感器位置正对一硅片加工区，所述护壳结构(200)包括用以收容滑动传感器的收容空间(21)、朝向硅片加工区的底面(22)以及与底面(22)相对的顶面(23)，其特征在于：所述底面(22)设有一个对着硅片加工区的感应窗口(26)，所述顶面(23)完全封闭。

2.根据权利要求1所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述滑动传感器上设有发出感应信号的感应器，所述感应窗口(26)的位置与所述感应器位置对应。

3.根据权利要求2所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述感应窗口(26)为矩形的小孔。

4.根据权利要求2所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述感应窗口(26)为椭圆形的小孔。

5.根据权利要求1所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述顶面(23)上设有与顶面(23)一体成型的盖帽(27)。

6.根据权利要求1所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述护壳结构(200)设有靠近底面(22)的第一安装部(28)以及靠近顶面(23)的第二安装部(29)，所述第一安装部(28)上设有用以固定护壳结构(200)的第一固定孔(281)，所述第二安装部(29)上设有用以固定护壳结构(200)的第二固定孔(291)。

7.根据权利要求6所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述滑动传感器设于一个机台上，所述机台上设有与第一固定孔(281)位置对应的第一安装孔以及与第二固定孔(291)位置对应的第二安装孔，所述护壳结构(200)通过紧固件与机台固定在一起。

8.根据权利要求7所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述紧固件为螺钉。

9.根据权利要求6所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述护壳结构(200)还包括位于顶面(23)与底面(22)之间的三个封闭侧面(24)以及一个与收容空间(21)贯通的敞开口(25)，所述敞开口(25)正对滑动传感器。

10.根据权利要求9所述的滑动传感器的护壳结构，其特征在于：所述第一安装部(28)及第二安装部(29)皆包括两个且分别位于敞开口(25)的两侧。