[实用新型]用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置有效
| 申请号： | 201120466509.7 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN202332808U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陆飞;刘志攀;李文;林东榕 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66;G01N21/25 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构，所述反应腔室的腔壁上设有检测口，所述光谱仪包括检测窗，包括直角弯管和转接头和45度反射镜，所述转接头安装于所述反应腔室的检测口上，所述直角弯管的一端与所述转接头密封连接，另一端与所述光谱仪的检测窗密封连接，所述45度反射镜设置于所述直角弯管内的转弯处。本实用新型还公开了一种反应装置，包括反应腔室和光谱仪，所述反应腔室和所述光谱仪之间设置有如上所述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构。本实用新型可以防止反应腔室内的反应气体大量接触光谱仪的检测窗，同时可以避免反应腔室的腔壁上的螺纹组件经常拆卸，从而有效延长反应腔室和光谱仪的检测窗的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 连接 反应 光谱仪 结构 装置 | ||
【主权项】：
一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构，所述反应腔室的腔壁上设有检测口，所述光谱仪包括检测窗，其特征在于，包括直角弯管、转接头和45度反射镜，所述转接头安装于所述反应腔室的检测口上，所述直角弯管的一端与所述转接头密封连接，所述直角弯管的另一端与所述光谱仪的检测窗密封连接，所述45度反射镜设置于所述直角弯管内的转弯处。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
