[实用新型]用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体领域，尤其涉及用于反应腔室和光谱仪的连接结构和反应装置。

背景技术

目前，在用于半导体生产的反应装置中，经常采用光谱仪检测反应腔室中的变化。例如，在蚀刻工艺中，将光谱仪密封连接到反应腔室的检测口中，用于检测反应腔室中的元素变化，以确定蚀刻反应是否已经完成。

请参阅图1，通常，现有的光谱仪120通过螺栓组件130直接连接到反应腔室110的检测口111上，光谱仪120的检测窗121紧贴所述反应腔室110的检测口111，在反应腔室110的腔壁上所述检测口的四周与光谱仪120的检测窗121的四周对应设置若干螺纹孔。

由于检测窗121直接对着反应腔室110的检测口111，反应腔室110进行蚀刻反应时，反应腔室110内的等离子体气体会从上向下运动，此时反应气体会接触并腐蚀检测窗121，使得检测窗121的表面变粗糙。粗糙的检测窗121会影响检测结果，所以需要经常更换检测窗121。每次更换检测窗121都必须拆卸螺栓组件130。多次反复拆卸螺栓组件130后，会使得反应腔室110的腔壁上的螺纹孔出现磨损的现象，使得反应腔室110出现经螺纹孔发生泄漏事故。从反应腔室110内泄漏的气体不但会腐蚀反应腔室110外的环境，而且会对操作人员的身体造成危害。

另外，经常更换检测窗121，也容易发生螺栓组件130断落于螺纹孔中的现象。当反应腔室110的腔壁上的螺纹孔磨损过大或者发生螺栓组件130断落于螺纹孔时，就必须更换反应腔室110的腔壁上，而更换反应腔室110的腔壁的成本将非常高昂。

因此，如何提供一种可以防止反应腔室泄漏的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置，可以防止反应腔室内的反应气体大量接触光谱仪的检测窗，同时可以避免反应腔室的腔壁上的螺纹组件经常拆卸，从而有效延长反应腔室和光谱仪的检测窗的使用寿命。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构，所述反应腔室的腔壁上设有检测口，所述光谱仪包括检测窗，包括直角弯管、转接头和45度反射镜，所述转接头安装于所述反应腔室的检测口上，所述直角弯管的一端与所述转接头密封连接，所述直角弯管的另一端与所述光谱仪的检测窗密封连接，所述45度反射镜设置于所述直角弯管内的转弯处。

优先地，在上述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构中，所述直角弯管的一端通过快速接头与所述转接头密封连接，所述直角弯管的另一端通过另一快速接头与光谱仪的检测窗密封连接。

优先地，在上述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构中，所述快速接头内设置有密封圈。

优先地，在上述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构中，所述转接头相对反应腔室的端面和所述反应腔室的腔壁上检测口的四周设有对应的螺纹孔。

优先地，在上述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构中，所述45度反射镜采用铬面板。

优先地，在上述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构中，所述直角弯管内靠近45度反射镜处设置有加热器。

优先地，在上述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构中，所述直角弯管采用铝合金管。

本实用新型还公开了一种反应装置，包括反应腔室和光谱仪，所述反应腔室和所述光谱仪之间设置有如上所述的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构。

本实用新型提供的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置，通过在反应腔室和光谱仪之间设置转接头和直角弯管，一方面，可以有效减少反应腔室的高温、腐蚀性的反应气体在从上至下的运动过程中接触光谱仪的检测窗，从而保护检测窗不受反应气体腐蚀，有效延长检测窗的使用寿命；另外，由于所述直角弯管的一端通过快速接头与所述转接头密封连接，另一端通过另一快速接头与光谱仪的检测窗密封连接，因此，在更换检测窗时，不需要将转接头从反应腔室的腔壁上不拆卸，而是仅仅将检测窗和直角弯管从转接头下拆下来，从而可以避免反应腔室的腔壁上的螺纹孔出现磨损现象，进而有效避免了反应腔室出现泄漏事故；再者，快速接头具有拆装方便的优点。

附图说明

本实用新型的用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的反应腔室和光谱仪的连接结构示意图。