[实用新型]低温电热膜真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201120464338.4 申请日: 2011-11-21
公开(公告)号: CN202322994U 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 邱洁华 申请(专利权)人: 湖州深蓝计算机科技发展有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34
代理公司: 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 代理人: 赵卫康
地址: 313000 浙江省湖州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种低温电热膜真空镀膜设备,包括卷轴传动机构,所述的卷轴传动机构安装在真空炉内,所述的真空炉具有加气口、真空口,所述的真空炉内安装有多级蒸发器,所述的多级蒸发器与设置在所述真空炉外的离子电源发生器的正极连接,所述卷轴传动机构上设有与离子电源发生器的负极连接的镀膜工件。本实用新型采用常温真空离子溅射的方式生产电热膜,解决了电热膜的载体材料必须是耐高温材料的问题,使金属氧化电热膜的应用扩展可以使用常规材料,如塑料薄膜、塑料板,普通玻璃板。
搜索关键词: 低温 电热 真空镀膜 设备
【主权项】:
低温电热膜真空镀膜设备,包括卷轴传动机构(1),其特征在于:所述的卷轴传动机构(1)安装在真空炉(2)内,所述的真空炉(2)具有加气口(201)、真空口(202),所述的真空炉(2)内安装有多级蒸发器(3),所述的多级蒸发器(3)与设置在所述真空炉(2)外的离子电源发生器(4)的正极连接,所述卷轴传动机构(1)上设有与离子电源发生器(4)的负极连接的镀膜工件(5)。
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