[实用新型]低温电热膜真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201120464338.4 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN202322994U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 邱洁华 | 申请（专利权）人： | 湖州深蓝计算机科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低温 电热 真空镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.低温电热膜真空镀膜设备，包括卷轴传动机构（1），其特征在于：所述的卷轴传动机构（1）安装在真空炉（2）内，所述的真空炉（2）具有加气口（201）、真空口（202），所述的真空炉（2）内安装有多级蒸发器（3），所述的多级蒸发器（3）与设置在所述真空炉（2）外的离子电源发生器（4）的正极连接，所述卷轴传动机构（1）上设有与离子电源发生器（4）的负极连接的镀膜工件（5）。
2.根据权利要求1所述的低温电热膜真空镀膜设备，其特征在于：所述多级蒸发器（3）为四级蒸发器。
3.根据权利要求1所述的低温电热膜真空镀膜设备，其特征在于：所述加气口（201）上安装有一加气电磁阀（6）。
4.根据权利要求1所述的低温电热膜真空镀膜设备，其特征在于：所述的真空口（202）上连接有一真空泵（7）。
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