[实用新型]涂层微纳米织构制备装置

摘要

一种涂层微纳米织构制备装置，包括顺序连接的脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块，所述的脉冲激光模块包括顺序连接的计算机、控制器和脉冲激光器；光路传输模块包括顺序连接的反射镜、扩束镜、反射镜组、聚焦镜组和透光玻璃；精密扫描模块包括步进电机和反应室，反应室内设有放置样品的三维平台，三维平台穿出反应室与步进电机相连接，步进电机与计算机的输出端连接。本实用新型加工方便、效率高，采用一个激光光源同时实现材料表面的薄膜涂层沉积微纳米织构制备，应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，能对任何材料进行精密的微纳米织构处理，同时能诱导多种气体的化学反应，高效的进行薄膜涂层沉积。

主权项

一种涂层微纳米织构制备装置，其特征在于：包括顺序连接的脉冲激光模块（1－1）、光路传输模块（1－2）和精密扫描模块（1－3），所述的脉冲激光模块（1－1）包括顺序连接的计算机（1）、控制器（2）和脉冲激光器（3）；所述的光路传输模块（1－2）包括顺序连接的反射镜（4）、扩束镜（5）、反射镜组（6）、聚焦镜组（7）和透光玻璃（8）；所述的精密扫描模块（1－3）包括步进电机（9）和反应室（11），反应室（11）内设有放置样品（12）的三维平台（10），三维平台（10）穿出反应室（11）与步进电机（9）相连接，步进电机（9）与计算机（1）的输出端连接。