[实用新型]检查装置

摘要

本实用新型提供在对基板进行摄像时能够减少用于吸附保持基板的吸附部被拍摄进去的检查装置。FPD检查装置(1)包括：用于对检查对象的基板(W)实施规定的处理的检查单元(100)及整体图像获得部(13)；及用于载置基板而输送该基板的输送台(12、20、21)；输送台包括：至少以能够沿输送基板的输送方向(D)移动的方式支承基板的自由辊(121、201、211)；及具有用于吸附保持基板的吸附部、以及支承吸附部并使吸附部沿与输送方向平行地延伸的输送轴(31)移动的驱动部(32)的驱动机构(30)；该检查装置还包括在吸附部位于整体图像获得部(13)的处理位置的情况下进行使该吸附部下降的控制的控制部(1b)。

主权项

检查装置，其包括：检查部，其用于对检查对象的基板实施规定的处理；以及输送台，其用于载置上述基板而输送该基板，其特征在于，上述输送台包括：支承部件，其至少能够沿输送上述基板的输送方向移动，并用于直接或间接地支承上述基板；多个保持部，其以能够沿与上述输送方向平行地延伸的输送轴移动的方式保持上述基板，并且能够升降；以及驱动部，其用于使上述保持部沿上述输送轴移动；上述检查装置还包括控制部，该控制部在上述保持部位于上述检查部的处理位置的情况下进行使该保持部下降的控制。