[实用新型]一种喷涂旋转靶材的冷却装置

摘要

本实用新型公开一种喷涂旋转靶材的冷却装置，包括冷却芯轴、进水管、出水管，冷却芯轴中心的两端设有互不连通的两段轴向阶梯孔，两段轴向阶梯孔靠近孔的底部设有连通冷却芯轴外表面的径向孔，冷却芯轴一端外表面靠近径向孔处设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，圆柱形肩台外径大于冷却芯轴中段的外径，冷却芯轴另一端外表面套接一个活动环，活动环上也设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，活动环旁设置一个锁在冷却芯轴外表面的螺母，冷却芯轴两端的轴向阶梯孔均以轴向密封周向可转动的方式与进水管和出水管相配合；本实用新型冷却效果好，有利于提高旋转靶材的成品率和质量。

主权项

一种喷涂旋转靶材的冷却装置，包括冷却芯轴、进水管、出水管，其特征在于：冷却芯轴中心的两端各设有一段轴向阶梯孔，两段轴向阶梯孔互不连通，两段轴向阶梯孔靠近孔的底部设有连通冷却芯轴外表面的径向孔，冷却芯轴一端外表面靠近径向孔处设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，圆柱形肩台外径大于冷却芯轴中段的外径，冷却芯轴另一端外表面套接一个活动环，活动环上也设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合，活动环旁设置一个锁在冷却芯轴外表面的螺母，冷却芯轴一端的轴向阶梯孔以轴向密封周向可转动的方式与进水管相配合，冷却芯轴另一端的轴向阶梯孔以轴向密封周向可转动的方式与出水管相配合，冷却芯轴的圆柱形肩台和活动环的圆柱形肩台上均套有密封圈与旋转靶材的管状金属基材相配合，活动环与冷却芯轴外表面之间也设有密封圈。