[实用新型]一种喷涂旋转靶材的冷却装置有效
申请号: | 201120376529.5 | 申请日: | 2011-09-29 |
公开(公告)号: | CN202246827U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 石煜;钟小平 | 申请(专利权)人: | 厦门映日光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C4/16 | 分类号: | C23C4/16 |
代理公司: | 厦门市诚得知识产权代理事务所 35209 | 代理人: | 方惠春 |
地址: | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 喷涂 旋转 冷却 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及旋转靶材生产设备技术领域,尤其是一种喷涂旋转靶材的冷却装置。
背景技术
旋转靶材常用不锈钢管作为基材,不锈钢管经过喷砂、打底处理后,就进入等离子喷涂,由于喷枪在喷射过程中温度极高,喷枪出口温度约6000-8000℃,粉末熔溶颗粒瞬间温度很高,因此在喷涂过程中需要对不锈钢管进行冷却,目前常用的做法是把不锈钢管套在一根钢管中,两端用螺母固定,然后在钢管中通入冷却水通过钢管管壁的热传导对不锈钢管进行冷却,但是这种冷却效果不理想,容易出现不锈钢管过热膨胀而导致涂层开裂,影响产品的成品率和质量。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种喷涂旋转靶材的冷却装置,冷却效果好,有利于提高旋转靶材的成品率和质量。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案是:一种喷涂旋转靶材的冷却装置,包括冷却芯轴、进水管、出水管,冷却芯轴中心的两端各设有一段轴向阶梯孔,两段轴向阶梯孔互不连通,两段轴向阶梯孔靠近孔的底部设有连通冷却芯轴外表面的径向孔,冷却芯轴一端外表面靠近径向孔处设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合,圆柱形肩台外径大于冷却芯轴中段的外径,冷却芯轴另一端外表面套接一个活动环,活动环上也设有圆柱形肩台与旋转靶材的管状金属基材相配合,活动环旁设置一个锁在冷却芯轴外表面的螺母,冷却芯轴一端的轴向阶梯孔以轴向密封周向可转动的方式与进水管相配合,冷却芯轴另一端的轴向阶梯孔以轴向密封周向可转动的方式与出水管相配合,冷却芯轴的圆柱形肩台和活动环的圆柱形肩台上均套有密封圈与旋转靶材的管状金属基材相配合,活动环与冷却芯轴外表面之间也设有密封圈。
在进水管上穿设弹簧使进水管的端面与冷却芯轴一端的轴向阶梯孔端面相靠紧来实现进水管与冷却芯轴一端的轴向阶梯孔形成轴向密封周向可转动配合,也可在出水管上穿设弹簧使出水管的端面与冷却芯轴另一端的轴向阶梯孔端面相靠紧来实现出水管与冷却芯轴一端的轴向阶梯孔形成轴向密封周向可转动配合。
在所述的冷却芯轴靠近圆柱形肩台处设有覆盖旋转靶材的管状金属基材端部的延伸段,活动环上靠近圆柱形肩台处也设有覆盖旋转靶材的管状金属基材端部的延伸段,确保旋转靶材的管状金属基材两端的部分位置不被喷枪喷涂。
进一步改进,在所述的进水管上设有温度传感器和流量传感器,所述的出水管上设有温度,可方便观察流进进水管冷却水温度和流量,流出出水管冷却水的温度,更好控制旋转靶材的管状金属基材的温度。
进一步改进,在冷却芯轴的两端外表面装有轴承,有利于冷却芯轴的转动。
本实用新型由于冷却水可从进水管流入冷却芯轴一端轴向阶梯孔,接着从径向通孔流入冷却芯轴中段外表面与旋转靶材管状金属基材内孔之间形成的空间,然后从冷却芯轴另一端的径向通孔流进冷却芯轴另一端轴向阶梯孔,最后从出水管流出,冷却水能直接对旋转靶材管状金属基材进行冷却,冷却效果较好,通过调节冷却水流量的大小,就能完全带走旋转靶材管状金属基材在喷涂过程中累积产生的热量,防止因旋转靶材管状金属基材过热膨胀而导致涂层开裂,有效提高了产品的成品率和质量。
附图说明
图1是本实用新型冷却芯轴剖视图。
图2是本实用新型活动环剖视图。
图3是本实用新型结构剖视图。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
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