[实用新型]一种喷涂旋转靶材用的喷咀

摘要

本实用新型公开一种喷涂旋转靶材用的喷咀，主要由前部圆柱体、中部圆锥体、后部圆柱体连接构成，中间设有由后部圆锥形孔和前部圆柱形孔连接而成中心通孔，后部圆锥形孔的外径由后向前依次减少，后部圆柱体周向外表面设有凹槽，凹槽上装有密封圈，前部圆柱体的外径大于后部圆柱体外径，中部圆锥体的外径由后向前依次减少，前部圆柱体轴向上设有环形凹槽，中部圆锥体伸入到所述环形凹槽内，所述前部圆柱形孔上和后部圆锥形孔的一部分镶嵌有一层钨材料层；本实用新型使用寿命长，能提高旋转靶材的喷涂质量。

主权项

一种喷涂旋转靶材用的喷咀，主要由前部圆柱体、中部圆锥体、后部圆柱体连接构成，中间设有由后部圆锥形孔和前部圆柱形孔连接而成中心通孔，后部圆锥形孔的外径由后向前依次减少，后部圆柱体周向外表面设有凹槽，凹槽上装有密封圈，前部圆柱体的外径大于后部圆柱体外径，其特征在于：中部圆锥体的外径由后向前依次减少，前部圆柱体轴向上设有环形凹槽，中部圆锥体伸入到所述环形凹槽内，所述前部圆柱形孔上和后部圆锥形孔的一部分镶嵌有一层钨材料层。