[实用新型]一种喷涂旋转靶材用的喷咀有效
| 申请号: | 201120376025.3 | 申请日: | 2011-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN202246826U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
| 发明(设计)人: | 石煜;钟小平 | 申请(专利权)人: | 厦门映日光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C4/16 | 分类号: | C23C4/16;B05B1/00 |
| 代理公司: | 厦门市诚得知识产权代理事务所 35209 | 代理人: | 方惠春 |
| 地址: | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 喷涂 旋转 靶材用 | ||
技术领域
本实用新型涉及靶材喷涂设备技术领域,尤其是一种喷涂旋转靶材用的喷咀。
背景技术
旋转靶材在制造过程中,其必须在管状金属基材的基础上进行等离子喷涂,进行等离子喷涂时,装在喷枪前端的喷咀是一个很关键的器件,其结构和材质直接影响旋转靶材的喷涂质量,传统的喷咀如图1所示,其由紫铜制成,喷咀由前部圆柱体1a、中部圆柱体2a、后部圆柱体3a连接而成,其中间设有一个由锥形孔41a和圆柱形孔42a连接而成的中心通孔4a,前部圆柱体1a的外径大于后部圆柱体3a外径,中部圆柱体2a外径小于后部圆柱体3a外径,后部圆柱体3a周向外表面设有凹槽,凹槽上装有密封圈5a,这种结构的喷咀在使用中冷却水主要在前部圆柱体1a后端面、中部圆柱体2a外表面、后部圆柱体3a外表面之间流动,对前部圆柱体1a的前端冷却效果不够理想,由于喷涂时,通过喷咀中心通孔4a的等离子体温度极高,对前部圆柱体1a的前端冷却不好,处于前部圆柱体1a中间的圆柱形孔42a就会造成烧蚀,烧蚀后铜材就随着粉末喷到旋转靶材的管状金属基材上,对旋转靶材的涂层造成污染,降低旋转靶材的质量,同时喷咀的使用寿命也降低。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种喷涂旋转靶材用的喷咀,其使用寿命长,能提高旋转靶材的喷涂质量。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案是:一种喷涂旋转靶材用的喷咀,主要由前部圆柱体、中部圆锥体、后部圆柱体连接构成,中间设有由后部圆锥形孔和前部圆柱形孔连接而成中心通孔,后部圆锥形孔的外径由后向前依次减少,后部圆柱体周向外表面设有凹槽,凹槽上装有密封圈,前部圆柱体的外径大于后部圆柱体外径,中部圆锥体的外径由后向前依次减少,前部圆柱体轴向上设有环形凹槽,中部圆锥体伸入到所述环形凹槽内,所述前部圆柱形孔上和后部圆锥形孔的一部分镶嵌有一层钨材料层。
进一步改进,所述的中部圆锥体外表面为阶梯形,增加中部圆锥体外表面与冷却水的接触面积,提高散热效果。
进一步改进,所述的中部圆锥体外表面设有多道环形凹槽,同样增加中部圆锥体外表面与冷却水的接触面积,提高散热效果。
本实用新型由于在前部圆柱体轴向上设有环形凹槽,中部圆锥体伸入到所述环形凹槽内,冷却水可进入前部圆柱体的环形凹槽中对前部圆柱体进行冷却,提高前部圆柱体前端的冷却效果,同时在所述的前部圆柱形孔上和后部圆锥形孔的一部分镶嵌有一层钨材料层,由于钨材料层的熔点较高,最大限度减少喷咀中心通孔的烧蚀,防止喷咀的金属材料随粉末喷到旋转靶材的管状金属基材上,保证靶材涂层的纯度,提高旋转靶材的喷涂质量,同时延长喷咀的使用寿命。
附图说明
图1是公知喷咀的剖视图。
图2是本实用新型第一种实施例剖视图。
图3是本实用新型第二种实施例示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
实施例一:图2所示,一种喷涂旋转靶材用的喷咀,主要由前部圆柱体1、中部圆锥体2、后部圆柱体3连接构成,中间设有由后部圆锥形孔41和前部圆柱形孔42连接而成的中心通孔4,后部圆锥形孔41的外径由后向前依次减少,后部圆柱体3周向外表面设有凹槽,凹槽上装有密封圈5,前部圆柱体1的外径大于后部圆柱体3外径,中部圆锥体2的外径由后向前依次减少,前部圆柱体1轴向上设有环形凹槽11,中部圆锥体2伸入到所述环形凹槽11内,所述前部圆柱形孔42上和后部圆锥形孔41的一部分镶嵌有一层钨材料层6,中部圆锥体2外表面为阶梯形。
实施例二:图3所示,其与实施例一不同的是中部圆锥体2外表面设有多道环形凹槽21。
以上仅是本实用新型两个较佳的实施例,本领域的技术人员按权利要求作等同的改变都落入本案的保护范围。
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C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
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