[实用新型]一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备

摘要

本实用新型涉及一种在线多点监测薄膜光学特征的仪器，该仪器可广泛应用在连续作业的镀膜机中，用以在线监测例如ITO透明导电薄膜、ITO玻璃等透明材料的光学特征。透明基材的两侧安装放置有光强传感器、带动透明基材传动的辊轮，光纤的一端接光强传感器，光纤的另一端接反射光栅，在反射光栅的对侧为CCD图像传感器，CCD图像传感器通过电路线与数据处理设备连接，数据处理设备的输出端接显示器。

主权项

一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备，其特征在于：透明基材（11）的两侧安装放置有光强传感器（2）、带动透明基材（11）传动的辊轮（9），光纤（1）的一端接光强传感器（2），光纤（1）的另一端接反射光栅（5），在反射光栅（5）的对侧为CCD图像传感器（6），CCD图像传感器（6）通过电路线（10）与数据处理设备（7）连接，数据处理设备（7）的输出端接显示器（8）。