[实用新型]一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在线多点监测薄膜光学特征的仪器，该仪器可广泛应用在连续作业的镀膜机中，用以在线监测例如ITO透明导电薄膜、ITO玻璃等透明材料的光学特征。

背景技术

近年来镀膜产品的应用领域逐步扩展，市场需求也是呈现上升趋势，例如ITO导电薄膜，在触摸屏市场扩张的带动下ITO需求量供不应求，为了提高生产效率，连续作业的镀膜机正快速发展，而在这类镀膜机当中一个重要的问题是如何在机器运转的情况下监测镀膜的形成质量。

过去，在无有效的监测方法之前，镀膜过程中无法掌控镀膜的质量如何，不能在镀膜过程中及时的进行工艺调整，特别是在镀多层膜的时候，由于不能及时控制每一层膜的质量，往往致使产品不良、材料浪费。

目前为了提高对镀膜产品的质量监测，一般都在镀膜机当中嵌入在线监测设备探头，探头与机器设备外的数据处理系统连接，对数据的分析结果显示在显示器上。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备，在线多点监测透明材料光学特征，包括透射率和反射率等，设有参考信号，与透射信号或反射信号对比，分析测量数据结果。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备，透明基材的两侧安装放置有光强传感器、带动透明基材传动的辊轮，光纤的一端接光强传感器，光纤的另一端接反射光栅，在反射光栅的对侧为CCD图像传感器，CCD图像传感器通过电路线与数据处理设备连接，数据处理设备的输出端接显示器。

所述光强传感器内部有分光镜，分光镜与驱动马达连接。

本实用新型的有益效果：

光纤的主要作用是利用全反射的原理将光线导入到光栅上；光强传感器的作用是连接光纤，接收光线；分光镜在驱动马达的带动下可以转动，角度可以根据需要进行调节；反射光栅的作用主要是对入射光线进行散射，将不同波长的光散射到CCD图像传感器上；CCD图像传感器的作用将光信号转变为电信号；电信号通过电路线传输进数据处理装置中，数据处理装置通过一套软件对监测结果加以分析处理，对比镀膜前和镀膜后的透射率变化情况；显示器主要作用是显示镀膜过程的数据分析结果，将薄膜的光学特征直观的呈现出来。

附图说明

图1 是本实用新型专利的结构示意图。

图2 是本实用新型专利的安装位置示意图。

具体实施方式

    为了详细叙述本实用新型专利的上述特点，优势和工作原理，下面结合说明书附图和具体实施方式对本实用新型做进一步的说明，但本实用新型所保护的范围并不局限于此。

如图1：一种带有参考信号的在线监测薄膜光学特征仪器设备，透明基材11的两侧安装放置有光强传感器2、带动透明基材11传动的辊轮9，光纤1的一端接光强传感器2，光纤1的另一端接反射光栅5，在反射光栅5的对侧为CCD图像传感器6，CCD图像传感器6通过电路线10与数据处理设备7连接，数据处理设备7的输出端接显示器8。所述光强传感器2内部有分光镜3，分光镜3与驱动马达4连接。

探头通过光纤导入到真空室单元中，在透明基材两侧放置安装有光强传感器2，光源发出的光线进入到光强传感器2内，在光强传感器2内部有分光镜3，通过驱动马达4可驱动分光镜3转动，分光镜3转动一定的角度，使一定比例的光线通过光纤1，导入到真空室外部的反射光栅5上，反射光栅5将照射到其表面的光线散射到CCD图像传感器6上，不同波长的光散射到CCD图像传感器6的不同位置上，CCD图像传感器6将光信号转变为电信号，电信号通过电路线10被传送到数据处理设备7中，电脑系统将根据不同波长的光反射情况，绘制出反射率变化曲线图，并通过显示器8显示监测结果。

图2是该仪器设备的安装位置示意图，图2是以卷绕式磁控溅射镀膜机为安装对象进行说明的，但是可安装的镀膜机不限于此。图2可见该仪器的光强传感器探头2安装在真空室内，通过光纤1与外面的数据处理设备连接，该仪器的安装位置不局限于此。从图2还可见镀膜鼓12和靶位13。