[实用新型]一种硅片推送装置有效
申请号: | 201120325773.9 | 申请日: | 2011-09-01 |
公开(公告)号: | CN202205798U | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 蒋雷俊;徐义祥;徐斌 | 申请(专利权)人: | 无锡德鑫太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;王桂霞 |
地址: | 214028 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片推送装置,用于将硅片从承载盒中推送至行走臂,所述硅片推送装置开设有用于插持所述硅片的沟槽。使用本实用新型的硅片推送装置,在推送硅片过程中,不会与硅片推送装置脱离,无法到达指定位置而造成碎片。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 推送 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片推送装置,用于将硅片从承载盒中推送至行走臂,其特征在于,所述硅片推送装置开设有用于插持所述硅片的沟槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的