[实用新型]用于手动探针台固定单个晶粒的装置有效
| 申请号： | 201120324722.4 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN202196091U | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 谢杰;马香柏 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于手动探针台固定单个晶粒的装置，所述手动探针台的载物台上设有与抽真空装置相连的气孔，该装置为一个由绝缘材料制成的容置壳体，所述容置壳体上设有多个不同尺寸的方形凹坑，每个方形凹坑中容纳一个晶粒，所述容置壳体的侧面和底面具有光滑金属层，容置壳体通过光滑金属层吸附在手动探针台的载物台上。本实用新型结构简单，使用方便，可重复利用，不但适用于各种大小的晶粒，而且可以同时固定多个晶粒进行测试，显著提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 手动 探针 固定 单个 晶粒 装置 | ||
【主权项】：
一种用于手动探针台固定单个晶粒的装置，所述手动探针台的载物台上设有与抽真空装置相连的气孔，其特征在于：该装置为一个由绝缘材料制成的容置壳体(1)，所述容置壳体(1)上设有多个不同尺寸的方形凹坑(2)，每个方形凹坑(2)中容纳一个晶粒，所述容置壳体(1)的侧面和底面具有光滑金属层(3)，容置壳体(1)通过光滑金属层(3)吸附在手动探针台的载物台上。
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