[实用新型]MTJ三轴磁场传感器有效
| 申请号: | 201120320031.7 | 申请日: | 2011-08-30 |
| 公开(公告)号: | CN202210145U | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
| 发明(设计)人: | 雷啸锋;张小军;黎伟;王建国;薛松生 | 申请(专利权)人: | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 孙仿卫;李艳 |
| 地址: | 215600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种MTJ三轴磁场传感器,敏感方向为X轴的X轴桥式磁场传感器、敏感方向为Y轴的Y轴桥式磁场传感器、敏感方向为Z轴的Z轴磁场传感器、与所述X轴桥式磁场传感器、所述Y轴桥式磁场传感器和所述Z轴磁场传感器相连接且适配的ASIC芯片,所述Z轴磁场传感器包括基片和制备在该基片上的MTJ元件,所述Z轴磁场传感器贴覆在ASIC芯片上形成一贴覆边,所述Z轴磁场传感器上与贴覆边相邻的侧边与该贴覆边形成一夹角,该夹角为锐角或钝角,其中X轴、Y轴和Z轴两两正交。本实用新型采用以上结构,集成度高,灵敏度更高,功耗更低,线性更好,动态范围更宽,温度特性更好,抗干扰能力更强。 | ||
| 搜索关键词: | mtj 磁场 传感器 | ||
【主权项】:
一种MTJ三轴磁场传感器,其特征在于:敏感方向为X轴的X轴桥式磁场传感器、敏感方向为Y轴的Y轴桥式磁场传感器、敏感方向为Z轴的Z轴磁场传感器、与所述X轴桥式磁场传感器、所述Y轴桥式磁场传感器和所述Z轴磁场传感器相连接且适配的ASIC芯片,所述Z轴磁场传感器包括连接的磁传感芯片,所述磁传感芯片包括基片和制备在该基片上的MTJ元件,所述磁传感芯片贴覆在ASIC芯片上形成一贴覆边,所述磁传感芯片上与贴覆边相邻的侧边与该贴覆边形成一夹角,该夹角为锐角或钝角,其中X轴、Y轴和Z轴两两正交。
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