[实用新型]双称重仪辅助晶体生长装置有效
| 申请号： | 201120314399.2 | 申请日： | 2011-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN202247000U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 吕立强 | 申请（专利权）人： | 上海朗兆机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 缪利明 |
| 地址： | 200235 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种双称重仪辅助晶体生长装置，包括：旋转装置；称重仪，所述称重仪设置在所述旋转装置上。所述旋转装置包括：支撑架；分别与所述支撑架连接、同轴设置的籽晶旋转伺服、轴承座及籽晶杆；所述称重仪设置在所述支撑架上。所述双称重仪辅助晶体生长装置还进一步包括一对中平台，所述对中平台设置在所述支撑架上。本实用新型双称重仪辅助晶体生长装置能精确调整输出功率，控制热场区内的长晶温度，是获得高品质晶体的前提。然后根据晶体生长的正常重量变化值，尽可能的得到最快的生长速率，降低长晶成本，提高生产效率。当需要晶体脱离坩埚时，通过从称重仪的数据变化，即可判断出晶体是否粘连到坩埚内壁。 | ||
| 搜索关键词： | 称重 辅助 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
双称重仪辅助晶体生长装置，其特征在于，包括：旋转装置；称重仪，所述称重仪设置在所述旋转装置上。
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