[实用新型]双称重仪辅助晶体生长装置有效
| 申请号： | 201120314399.2 | 申请日： | 2011-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN202247000U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 吕立强 | 申请（专利权）人： | 上海朗兆机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 缪利明 |
| 地址： | 200235 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 称重 辅助 晶体生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1.双称重仪辅助晶体生长装置，其特征在于，包括：
旋转装置；
称重仪，所述称重仪设置在所述旋转装置上。
2.根据权利要求1所述的双称重仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述旋转装置包括：
支撑架；
分别与所述支撑架连接、同轴设置的籽晶旋转伺服、轴承座及籽晶杆；所述籽晶旋转伺服、所述轴承座及所述籽晶杆垂直于所述支撑架所在平面。
3.根据权利要求1或2所述的双称重仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述称重仪设置在所述支撑架上。
4.根据权利要求2所述的双称重仪辅助晶体生长装置，其特征在于，所述双称重仪辅助晶体生长装置还进一步包括一对中平台，所述对中平台设置在所述支撑架上。
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