[实用新型]一种均温拉晶炉有效
| 申请号： | 201120285469.6 | 申请日： | 2011-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN202246988U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 刘宝成 | 申请（专利权）人： | 河南恒昌电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 461500 河南省许昌市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种拉晶炉，具体地说是涉及半导体生产技术领域的设备。一种均温拉晶炉，它包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖，这样结构的均温拉晶炉具有能够使拉晶管受热更均匀、从而提高晶棒质量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均温拉晶炉 | ||
【主权项】：
一种均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，其特征是：在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖。
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