[实用新型]一种均温拉晶炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种拉晶炉，具体地说是涉及半导体生产技术领域的设备。

背景技术

拉晶炉的结构是这样的，它是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，使用时，拉晶管就放置在这个孔之间，这样的拉晶炉具有使拉晶管受热不均匀、晶棒产品质量不高的缺点。      

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种能够使拉晶管受热更均匀、从而提高晶棒质量的拉晶炉——一种均温拉晶炉。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，其特征是：在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖。

本实用新型的有益效果是：这样结构的均温拉晶炉具有能够使拉晶管受热更均匀、从而提高晶棒质量的优点。

附图说明

图1是本实用新型的剖面结构示意图。

其中：   1、炉体   2、耐火砖  3、套体。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如图1所示，一种均温拉晶炉，包括炉体1，所述的炉体1是由多个带孔的耐火砖2叠放而成的，所述各个耐火砖2的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，其特征是：在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体3，所述的套体3的上端和下端覆盖着耐火砖。